Značilnosti:

1) Hitrost nitriranja je višja, cikel nitriranja se lahko ustrezno skrajša, čas ionskega nitriranja pa se lahko skrajša na 1/3-2/3 časa plinskega nitriranja.

2) Krhkost nitrirne plasti je majhna, bela plast, ki nastane na površini plazemskega nitriranja, pa je zelo tanka ali celo ni. Poleg tega je deformacija, ki jo povzroči nitrirna plast, majhna, kar je še posebej primerno za precizne dele kompleksnih oblik.

3) Prihranite lahko energijo in amoniak. Poraba električne energije je 1/2–1/5 pri plinskem nitriranju, poraba amoniaka pa 1/5–1/20 pri plinskem nitriranju.

4) Lokalno nitriranje je enostavno izvesti, če del, ki ni nitriran, ne proizvaja sijaja, del, ki ni nitriran, je enostavno zaščititi, sijaj pa je mogoče zaščititi z mehansko zaščito in železno ploščo.

5) Ionsko bombardiranje lahko očisti površino in samodejno odstrani pasivacijski film. Nerjaveče jeklo in toplotno odporno jeklo se lahko nitrirajo neposredno brez predhodnega odstranjevanja pasivacijskega filma.

6) Strukturo sestavljene plasti, debelino in strukturo infiltracijske plasti je mogoče nadzorovati.

7) Temperaturno območje obdelave je široko, določeno debelino nitrirne plasti pa je mogoče doseči tudi pod 350 °C.

8) Izboljšani so delovni pogoji. Obdelava s plazemskim nitriranjem brez onesnaževanja se izvaja pod zelo nizkim tlakom z zelo malo izpušnih plinov. Vir plina je dušik, vodik in amonijak, zato se praktično ne proizvajajo škodljive snovi.

9) Uporablja se lahko za vse vrste materialov, vključno z nerjavnim jeklom, toplotno odpornim jeklom z visoko temperaturo nitriranja, orodnim jeklom in preciznimi deli z nizko temperaturo nitriranja, medtem ko je nitriranje pri nizkih temperaturah precej težavno pri plinskem nitriranju.